IJPEM
Development of Algorithm to Estimate Sensor Offset in Maglev Tray System
진공 적용 가능한 수동형 초정밀 자기부상
물류이송장치의 센서 오프셋 추정 알고리즘
김창현/한국기계연구원
- 마찰, 분진이 없어 OLED 제조 공정에 적용하여 생산성 향상이 가능한 수동형 초정밀 자기부상 물류이송장치 개발
- 동력원이 없는 캐리어를 지면 프레임에 부착된 전자석과 센서를 이용하여 공중에 띄워 이동하는 기술로 진공 적용이 가능한 것이 장점
- 다수(40개)의 부상 간격 센서를 이용하여 캐리어를 정밀 제어하며, 센서 설치 오차가 있는 경우 캐리어 이동 중 피칭 모션이 발생
- 주파수 영역에서 센서 설치 오프셋을 추정하여 보정해주는 반복적인 알고리즘을 적용하여 캐리어 이동 중 피칭 모션을 억제하여 정밀도 향상
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