IJPEM
MEMS PZT Oscillating Platform for Fine Dust Particle Removal at Resonance
공진을 이용하여 미세 먼지 입자를 제거하는 새로운 MEMS PZT 진동 플랫폼 개발
박우태/서울과학기술대학교
- 본 연구는 MEMS 공진소자를 이용한 미세 먼지 측정 방식에 필수적인 센서의 표면에 앉은 미세 먼지 입자 제거를 목적으로 함
- 미세 먼지 입자와 표면 사이의 인력을 반데르발스 힘을 이용하여 추정하고, 미세 먼지 입자를 제거하는데 필요한 가속도를 고유 진동주파수와 인가전압을 통해서 만족시킬 수 있음을 확인
- 정략적인 평가와 정성적인 평가를 통해 미세 먼지 입자를 공진을 통해서 제거할 수 있음을 확인함
- 본 연구에서 제안된 압전 진동 플랫폼을 이용하면 MEMS 공진 소자의 민감도 감소와 포화 문제를 새로운 방식으로 해결 가능
메뉴열기
