한국정밀공학회지
마이크로/나노 패터닝 공정 생산성 향상 기술 동향
A Review: Productivity Enhancements of Micro/Nano Patterning Methods
마이크로/나노구조 생산성 향상을 위한 기술의 최신 연구동향
곽문규/경북대학교
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마이크로/나노 구조 제작의 대표적인 기술인 포토리소그래피와 나노임프린트리소그래피의 생산성 향상을 위한 기술개발 연구 동향을 소개함.
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롤 형태의 몰드 및 마스크 기반의 마이크로/나노 구조 연속 생산 기술 연구에 대해 각 생산 기술 별로 구체적인 특징을 설명함.
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대면적 마이크로/나노 구조 패터닝을 위한 seamless 몰드 생산 방법에 대해 최신 연구 동향을 분석하였음.
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소개된 다양한 생산성 향상 기술을 토대로 개발된 응용에 대해 소개하였고 생산기술의 발전 방향에 대해 고찰하였음.
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